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SK海力士突發(fā)!工廠氫氟酸化學物泄露!

據(jù)韓媒《朝鮮日報》4月6日報道,SK海力士利川M16工廠3名工人在檢查設(shè)備的過程中因毒性物質(zhì)氟酸泄露受傷。M16工廠是此前竣工的DRAM生產(chǎn)工廠。當天上午11點34分時,在京畿道利川市SK海力士 M16工廠5樓的設(shè)備進行檢查期間,發(fā)生氫氟酸泄漏事故。


氟酸是無色毒性氟化氫溶解在水中的揮發(fā)性液體。使用于半導體電路繪制Pattern的蝕刻制程中。

在這起事故中,一名30歲的工人的胳膊和腿被燒傷,另有兩名雇員也因吸入氟酸氣體轉(zhuǎn)移至附近醫(yī)院。據(jù)報道,3名均無生命危險。SK海力士表示,此次事故是在對新的M16工廠設(shè)備進行檢查時發(fā)生的,對半導體生產(chǎn)沒有影響。

圖片

(圖片來源:朝鮮日報)


據(jù)悉,M16工廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品,總面積5.7萬平方米。在2021年1月,SK海力士在韓國京畿道利川總部舉行M16新廠竣工儀式,正式宣布新廠落地。


SK海力士首次在M16配備EUV(極紫外)光刻機,并從今年下半年起生產(chǎn)第四代1α納米級DRAM產(chǎn)品。未來SK海力士將提高EUV設(shè)備利用率,進一步增強存儲器半導體相關(guān)的先進工程技術(shù)領(lǐng)導力。