據(jù)臺(tái)媒報(bào)道，今日上午10點(diǎn)20分，位于中國(guó)臺(tái)灣新竹科學(xué)園區(qū)的亞東氣體發(fā)生起火事件?；饎?shì)在上午11時(shí)許一度變得十分猛烈，整棟廠房都被大火及濃煙吞噬。根據(jù)當(dāng)?shù)鼐用裾f(shuō)法，疑似聽到3聲爆炸聲，后續(xù)工廠就不斷冒出火光和濃煙，甚至數(shù)公里外都看得見。亞東氣體指出，目前工廠停工、無(wú)人員傷亡，目前也沒有供應(yīng)氣體，無(wú)氣體擴(kuò)散疑慮，但因火勢(shì)燃燒超過(guò)1小時(shí)，廠房RC結(jié)構(gòu)恐怕受損，還需要待火勢(shì)撲滅后，才能確認(rèn)是否有倒塌疑慮，以及厘清起火原因。臺(tái)積電、聯(lián)電等半導(dǎo)體業(yè)晶圓廠制程需要用到的氮?dú)?、氨氣、氫氣，還有制程中CVD、Etch會(huì)用到特殊氣體，亞東氣體均有供應(yīng)，是否會(huì)影響到半導(dǎo)體的氣體供應(yīng)，有待災(zāi)損的情況而定。
現(xiàn)場(chǎng)救災(zāi)人員表示，這是多年來(lái)竹科園最嚴(yán)重的火災(zāi)案，因變壓器故障引發(fā)爆炸起火，內(nèi)中有很多絕緣油，這非常難滅，目前約動(dòng)員1百多個(gè)消防人員救災(zāi)中，整棟廠房尚在燃燒中。
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外傳因亞東氣體大火造成竹科大規(guī)模停電？對(duì)此，竹科管理局表示，亞東氣體廠區(qū)內(nèi)變電器發(fā)生火災(zāi)，連帶影響竹科發(fā)生C級(jí)壓降，目前警消人員已緊急前往灌救和處理。據(jù)臺(tái)電壓降等級(jí)分類，C級(jí)壓降是壓降持續(xù)時(shí)間落于0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。關(guān)于當(dāng)日上午發(fā)生的短暫壓降，世界先進(jìn)回復(fù)說(shuō)，公司部分機(jī)臺(tái)有停機(jī)進(jìn)行檢查，目前已陸續(xù)復(fù)機(jī)中，對(duì)生產(chǎn)影響有限。力積電表示，有加裝不斷電系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)，隨即馬上啟動(dòng)，但未加裝的機(jī)臺(tái)受到約80多毫秒壓降的影響，實(shí)際的報(bào)廢晶圓片還在評(píng)估中，但依照過(guò)去經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，通常影響不大，且認(rèn)為明天應(yīng)該都會(huì)恢復(fù)正常。臺(tái)積電、聯(lián)電則表示，由于壓降時(shí)間非常短，產(chǎn)線未受影響，目前生產(chǎn)一切正常。
亞東氣體(Air Liquide Far Eastern) 是由法國(guó)液化空氣集團(tuán)與遠(yuǎn)紡集團(tuán)于1987年在臺(tái)灣成立的合資公司。2020年，法液空集團(tuán)宣布投資2億歐元分別在臺(tái)灣的臺(tái)南和新竹科學(xué)園建設(shè)工廠，包括為新竹科技園的一些邏輯IC芯片研發(fā)工廠供氣。據(jù)悉，法液空通過(guò)其控股的遠(yuǎn)東氣體在新竹建設(shè)兩個(gè)大型工廠主要生產(chǎn)高純氮?dú)夂蜌鍤?，新?2萬(wàn)標(biāo)準(zhǔn)立方米/小時(shí)的高純氮?dú)狻?/span>
